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Problembeschreibung und Messkampagnen

Problembeschreibung

- Vorschläge zur Prozesskontrolle
- Ursacheneingrenzung bei Fehlfunktionen und Störungen
- Erstellung eines Fehlersuchkonzeptes für eine genaue Bestimmung der Fehlerursache
- Kapazitäts- und Wirtschaftlichkeitsbetrachtungen
- Entwicklung von Konzepten zur Lösung der anstehenden Probleme Messkampagnen
- Unabhängiger Gutachter im Rechtsstreit
- Druck und Durchflussmessungen – Kapazitätsermittlung, Bilanzierung
- Einzelelementbestimmung (H2, HF, etc.) z.B. zur Überprüfung der Spezifikation der Abwasserbehandlungsanlagen
- Partikelgrößen, Konzentration – Messungen am Point of Use
- Leitfähigkeit, pH, TOC, etc. – Auffinden von Fehleinleitungen
- Filtercharakterisierung – Aussage zur Fehlfunktion

Für weiterführende analytische Untersuchungen arbeiten wir eng mit dem Analytikzentrum der GWT-TUD GmbH und Instituten der TU-Dresden zusammen. Im Geschäftsbereich Aello – in-line sensor systems werden kundenspezifische messtechnische Entwicklungen realisiert. Für die Halbleiterindustrie entstanden unter anderem folgende messtechnische Lösungen:

Aello 5000 – Abwasser Konzentrationsmonitor
Aello 1520 – CMP-Slurry Konzentrationsmonitor
Aello 1551 – CMP-Slurry Konzentrationsmonitor